東莞市高能工業氣體有限公司
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強強聯合!華特氣體簽訂高純三氟化氯研發合作協議时间:2021-03-25 【转载】 ![]() 近日,在樂山市人民政府副秘書長唐代祥、公司副董事長石思慧、四川紅華實業有限公司(以下簡稱“紅華實業”)董事長朱紀的共同見證下,公司總經理傅鑄紅和紅華實業的總經理彭元明代表雙方簽署了高純三氟化氯生產技術合作開發協議。 ![]() 根據公司的發展戰略宗旨,公司持續以特種氣體的研發為核心,打破更多的產品進口替代為使命,突破更多、更難的半導體材料應用技術難點為目標。經過多次調研、交流和探索選擇了國內技術力量雄厚、檢測手段齊全、研發能力強勁的紅華實業為合作對象,擬共同研發高純三氟化氯的核心技術,一舉打破國外壟斷市場的局面,使高純三氟化氯快速實現國產化替代。 2010年,日本關東化學、中央旭硝子、巖谷產業就已規模化生產出高純三氟化氯產品,但我國仍少見高純三氟化氯可用于芯片制程的產業化報道。目前,仍以日本、美國等國家壟斷國內的市場。高純三氟化氯主要用于芯片制程中的蝕刻、硅片和腔體清洗,由于其高氟碳比和較強的氟離子自由基,在先進制程中的應用越來越廣泛,特別在14nm以下制程中,是不可替代的新型蝕刻材料。此外,高純三氟化氯相比于普通的氟碳蝕刻材料,其極低的GWP值(全球變暖潛能值),也滿足未來芯片制程向更環保、更加可持續發展的需求。 此次合作,雙方強強聯合,充分發揮雙方多年的研究、應用成果和科研團隊優勢,進一步實現技術突破,從而達到進口替代的目標,并同時對促進國家半導體行業的發展上具有重要意義。隨著半導體工藝的不斷升級迭代,未來高純三氟化氯在芯片制造、第三代半導體、面板等行業擁有廣闊的市場潛力。此次合作將有助于提高公司的盈利能力和核心競爭力,助力公司深耕特種氣體行業。 樂山市經濟與信息化局,公司運營總監、董事長助理,紅華實業總會計師、副總經理、總工程師、科技委委員以及計劃部、財會部、生產技術部、安全環保部、保密部、二分廠、分析計量室等相關單位負責人參加簽約儀式。 ![]() ![]() |
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