近日，在樂山市人民政府副秘書長唐代祥、公司副董事長石思慧、四川紅華實業(yè)有限公司（以下簡稱“紅華實業(yè)”）董事長朱紀的共同見證下，公司總經(jīng)理傅鑄紅和紅華實業(yè)的總經(jīng)理彭元明代表雙方簽署了高純?nèi)�氟化氯生產(chǎn)技術(shù)合作開發(fā)協(xié)議。

    根據(jù)公司的發(fā)展戰(zhàn)略宗旨，公司持續(xù)以特種氣體的研發(fā)為核心，打破更多的產(chǎn)品進口替代為使命，突破更多、更難的半導(dǎo)體材料應(yīng)用技術(shù)難點為目標。經(jīng)過多次調(diào)研、交流和探索選擇了國內(nèi)技術(shù)力量雄厚、檢測手段齊全、研發(fā)能力強勁的紅華實業(yè)為合作對象，擬共同研發(fā)高純?nèi)�氟化氯的核心技術(shù)，一舉打破國外壟斷市場的局面，使高純?nèi)�氟化氯快速實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
    2010年，日本關(guān)東化學(xué)、中央旭硝子、巖谷產(chǎn)業(yè)就已規(guī)模化生產(chǎn)出高純?nèi)�氟化氯產(chǎn)品，但我國仍少見高純?nèi)�氟化氯可用于芯片制程的產(chǎn)業(yè)化報道。目前，仍以日本、美國等國家壟斷國內(nèi)的市場。高純?nèi)�氟化氯主要用于芯片制程中的蝕刻、硅片和腔體清洗，由于其高氟碳比和較強的氟離子自由基，在先進制程中的應(yīng)用越來越廣泛，特別在14nm以下制程中，是不可替代的新型蝕刻材料。此外，高純?nèi)�氟化氯相比于普通的氟碳蝕刻材料，其極低的GWP值（全球變暖潛能值），也滿足未來芯片制程向更環(huán)保、更加可持續(xù)發(fā)展的需求。 此次合作，雙方強強聯(lián)合，充分發(fā)揮雙方多年的研究、應(yīng)用成果和科研團隊優(yōu)勢，進一步實現(xiàn)技術(shù)突破，從而達到進口替代的目標，并同時對促進國家半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展上具有重要意義。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷升級迭代，未來高純?nèi)�氟化氯在芯片制造、第三代半�?dǎo)體、面板等行業(yè)擁有廣闊的市場潛力。此次合作將有助于提高公司的盈利能力和核心競爭力，助力公司深耕特種氣體行業(yè)。
    樂山市經(jīng)濟與信息化局，公司運營總監(jiān)、董事長助理，紅華實業(yè)總會計師、副總經(jīng)理、總工程師、科技委委員以及計劃部、財會部、生產(chǎn)技術(shù)部、安全環(huán)保部、保密部、二分廠、分析計量室等相關(guān)單位負責(zé)人參加簽約儀式。