乙硅烷是一種無機化合物，其化學式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。
乙硅烷Si2H6
1.別名·英文名
Disilane、Disilicoethane，Silicoethane?Disilicon hexahy-dride、Disilicane．
2.用途
太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相淀積。
3.制法
(1)硅化鎂法．
Mg2Si+HCl→Si2H6+MgCl2
反應產物為單硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它們精制分離后得乙硅烷。
(2)還原法：用氫化鋁鋰等還原劑還原六氯乙硅烷。
乙硅烷用低溫精餾和吸附等方法精制。
(3)甲硅烷無聲放電。
4.理化特性：
分子量： 66.22
熔點(101.325kPa)： -132.6℃
沸點(101.325kPa)： -14.3℃
液體密度(-14.3℃，101.325kPa)： 901 kg/m3
氣體密度(-14.3℃，101.325kPa)： 2.97kg/m3
臨界溫度： 150.85℃
臨界壓力： 5150kPa
臨界密度： 338kg/m3
壓縮系數：
| 溫度℃ | 壓縮系數 |
| 100kPa | 200kPa | 400kPa | 600kPa |
| 1550 | 0.97990.9857 | 0.95920.9710 | 0.9405 | 0.9081 |
熔化熱(-132.6℃，14055kPa)： 1.34 kJ/kg
氣化熱(-14.3℃，101.325kPa)： 343.74 kJ/kg
蒸氣壓(-80℃)： 3.4kPa
(0℃)： 181kPa
80℃)： 1468kPa
著火點： 室溫
乙硅烷在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。在空氣中自燃，著火點力室溫，所以，遇到空氣瞬間就燃燒，并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬，在0.2%以上時，燃燒發出火焰，在0.2%以下時，進行氧化反應生成白色的SiO2。在氯氣中也爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應，但如果是在低溫，則適度地進行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應。與堿金屬及汞合金反應分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應，但與堿反應生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質的存在下，在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→SiH4+(SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等，但對大多數金屬不腐蝕。
5.毒性
有關乙硅烷的毒性方面的文獻資料很少，但是從理論上以及其它類似氫化物的毒性中可以推測出，乙硅烷也是有毒的。
6.安全防護
因為乙硅烷比硅烷更不穩定，所以，應該比硅烷更加注意(參見硅烷)。鋼瓶溫度不能冷卻到乙硅烷的沸點(-14.3℃)以下，因為這是非常危險的。
因為乙硅烷在空氣中自燃，很容易發現其泄漏，而且有時在泄漏時產生爆炸聲，所以要沉著處理泄漏。當小量泄漏時，要站在上風方向去關閉鋼瓶閥；關閉閥門仍然止不住時，要澆水并監視到完全燒完為止；或者轉移到通風良好的安全場所。當大量泄漏時，主要考慮控制火勢使火災不擴展到別處。為此，要消除一切火源，把附近的可燃物轉移出去；采取一切保護措施，例如，澆水降溫，把泄漏容器沉入水中，讓它在水面上燃燒，撤離人員，封鎖危險區等，使人員和物質財富少受損失。
參見附錄中的有關內容。
乙硅烷無腐蝕性，可以用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐鹽酸鎳基合金、聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合體、尼龍、氟化橡膠、玻璃等。
乙硅烷廢氣可用堿的水溶液吸收或用燃燒法處理。
